目标

     1 通过化学气相沉淀方法将统一的胶片应用在硅晶片上。

     2 使化学物质沉淀在晶片上。

KAMAN传感器解决方案

     在沉淀开始前，Kaman传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系，喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置，这样校准可以定位金属盘在一个最合适的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜，制动装置将校正其位置。

 KAMAN传感器特点

      1类型：SMT-9700

      2 直接测试： 一个环直接连接到弹簧浮板传感器可以直接测试气体喷射器的位置。

      3 无需接触：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。

      4  应用广泛。

KAMAN传感器SMT是一款专门为客户定制的OEM产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率，符合CE和RoHS标准，尺寸小巧，并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化。

KAMAN传感器应用领域

光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位，原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

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