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KAMAN传感器半导体晶片的定位(化学气相沉淀)
lxmm123 | 2017-12-05 11:12:17    阅读:21   发布文章

目标

     1 通过化学气相沉淀方法将统一的胶片应用在硅晶片上。

     2 使化学物质沉淀在晶片上。

 

KAMAN传感器解决方案

     在沉淀开始前,Kaman传感器确保金属盘与喷洒器保持平行的位置关系,喷洒器用来均匀喷射气体(如图所示)。传感器则用来做校准装置,这样校准可以定位金属盘在一个最合适的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号,以防止信号值超出可承受范围。如果金属盘倾斜,制动装置将校正其位置。

 

 KAMAN传感器特点

      1类型:SMT-9700

      2 直接测试: 一个环直接连接到弹簧浮板传感器可以直接测试气体喷射器的位置。

      3 无需接触:应用涡电流的技术,每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。

      4  应用广泛。

高精度传感器.jpg

 

KAMAN传感器SMT是一款专门为客户定制的OEM产品,可测非导磁体和铁磁材料,有1、23通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率,符合CERoHS标准,尺寸小巧,并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化。

KAMAN传感器应用领域

光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位,原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

 

 

详情请访问:

http://www.51sensors.com/prod_detail_786.html

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