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NM-Z-15A纳米定位台
lxmm123 | 2017-12-05 10:55:13    阅读:20   发布文章
 NM-Z-15A纳米定位台是一个压电扫描柔性引导平台,该平台集成电容位移传感器。它的特点是作为一个参考面可以集成NM-XY-100A来实现三维位置控制。      NM-Z-15A纳米定位台特点是高于纳米级的分辨率和重复性。这个平台是用来测量轴偏差极端微小角度偏差,用在扫描探针显微镜末端和其他不能容忍微小偏差的应用。     NM-Z-15A纳米定位台应用领域◆扫描探针显微镜; ◆干涉测量;◆精密工程;◆计量;NM-Z-15A纳米定位台推荐控制器NM3110NM-Z-15A纳米定位台主要特点◆>5微米运动范围,高于纳米级分辨率;◆振荡频率>3K;◆0.005%磁滞、线性度;◆现场扫描最优化;◆高稳定性;◆特殊钢材外壳;























 

 

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