| NM-Z-15A纳米定位台是一个压电扫描柔性引导平台，该平台集成电容位移传感器。它的特点是作为一个参考面可以集成NM-XY-100A来实现三维位置控制。 NM-Z-15A纳米定位台特点是高于纳米级的分辨率和重复性。这个平台是用来测量轴偏差极端微小角度偏差，用在扫描探针显微镜末端和其他不能容忍微小偏差的应用。 NM-Z-15A纳米定位台应用领域◆扫描探针显微镜； ◆干涉测量；◆精密工程；◆计量；NM-Z-15A纳米定位台推荐控制器NM3110NM-Z-15A纳米定位台主要特点◆>5微米运动范围，高于纳米级分辨率；◆振荡频率>3K；◆0.005%磁滞、线性度；◆现场扫描最优化；◆高稳定性；◆特殊钢材外壳； | ||
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