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NM-Z-15B纳米平台是一个集成了电容传感器的纳米平台。特点是高于纳米级的分辨率和重复性。 | |
NM-Z-15B纳米平台应用领域 | ||
◆ | 扫描探针显微镜； | |
◆ | 干涉测量； | |
◆ | 精密工程； | |
◆ | 计量； | |
NM-Z-15B纳米平台推荐控制器 | ||
NM3110 | ||
NM-Z-15B纳米平台主要特点 | ||
◆ | >15微米运动范围，高于纳米级分辨率； | |
◆ | 振荡频率>1.8K； | |
◆ | 0.005%磁滞、线性度； | |
◆ | 高带宽(>300Hz)响应时间短； | |
◆ | 现场扫描最优化； | |
◆ | 高稳定性； | |
◆ | 特殊钢材外壳； | |
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http://www.51sensors.com
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